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沃顿科技联合海水淡化所共建自然资源部海水淡化与膜材料重点实验室3

2025/12/06


真空电容器是半导体前道设备核心部件之一,应用在刻蚀、薄膜沉积PVD\CVD\ALD、等离子注入、等离子清洗、去胶等设备的射频电源系统中,用于调节保障射频能量的动态高效传输。